拓荆科技暂无控股股东和实际控制人,国家集成电路基金持股比例为19.86%,国投上海持股比例为13.68%,中微公司持股比例为8.4%,为公司前三大股东。

吕光泉，1965年出生，美国国籍，美国加州大学圣地亚哥分校博士。现任拓荆科技董事长。1994年8月至2014年8月，先后任职于美国科学基金会尖端电子材料研究中心、美国诺发、德国爱思强公司美国SSTS部，历任副研究员、工程技术副总裁等职。2014年9月至今就职于公司，曾任技术总监、总经理、董事，现任拓荆科技公司董事长。成功领导研发团队完成“1x nm3D NAND PECVD研发及产业化”国家重大科技专项，领导团队研发“国家科技重大专项课题A（ALD相关）”、“国家集成电路装备项目A（介质薄膜先进工艺相关）”等国家重大科技项目/课题，成功领导完成ALD、SACVD设备研发并产业化应用。