大股东是清华控股，清华大学为实控人。

华海清科的创始人之一，路新春博士的简历如下：

1. 教育背景：

   • 路新春博士毕业于吉林大学材料科学与工程专业，获得工学学士学位。
   • 后在中国科学院金属研究所获得工学博士学位。

2. 职业生涯：

   • 1994年4月至1996年3月，任清华大学精密仪器与机械学系博士后、讲师。
   • 1996年4月至2012年12月，历任清华大学精密仪器与机械学系副教授、教授。
   • 2013年1月至今，任清华大学机械工程系教授、首席研究员（2020年9月办理离岗创业）。

3. 华海清科的职务：

   • 2013年4月至2019年10月，任华海清科股份有限公司董事长、总经理。
   • 2019年11月至今，任华海清科股份有限公司董事长、首席科学家。

4. 学术成就：

   • 路新春博士在化学机械抛光（CMP）领域拥有丰富的研究经验，曾发表一系列相关SCI论文，累计获授权国家发明专利超过100项，是全球CMP设备技术授权专利获得最多的专家，也是国内CMP技术发展和产业化的重要推动者。

5. 荣誉奖项：

   • 1998年1月“激光检测原子力/摩擦力显微镜的研制及应用”获国家教委科技进步二等奖。
   • 1997年12月“金属磨蚀机理研究”获中国科学院自然科学三等奖。
   • 2001年5月“纳米级薄膜润滑理论与实验研究”获中国高校自然科学一等奖。
   • 2001年“纳米润滑理论与实验研究”获国家自然科学二等奖。
   • 2000年2月“纳米级润滑膜厚度测量技术研究”获清华大学科研成果推广应用效益显著专项奖。
   • 1997年1月“清华之友”获优秀青年教师奖励金二等奖。
   • 2023年4月，荣获全国五一劳动奖章。

路新春博士作为华海清科的核心创始人之一，以其深厚的学术背景和对CMP技术的深入研究，为公司的发展和中国半导体设备领域的进步做出了重要贡献。

国内12英寸化学机械抛光(CMP)设备唯一供应商。

华海清科在国产抛光设备中不仅是市占率第一，更是该关键领域的绝对龙头。它基本代表了国内化学机械抛光（CMP）设备的最高水平。

综合来看，华海清科在国内CMP设备市场已建立起​​显著的领先优势​​。尤其是在决定芯片制造先进工艺水平的​**​12英寸产线上，其超过80%的市占率几乎等同于国产CMP设备的代名词