横河电机的发展可以追溯到1915年，当时建筑家、工学博士横河民辅在日本东京成立一家电表研究所。1955年，横河电机从美国福克斯波罗公司引进工业仪表技术，并在1963年与美国惠普公司合资成立“YokogawaHewlettPackartLtd.”。在1975年，横河电机率先开发分布式控制系统，并推出了全球首个CENTUM系列“DCS”，八年后，横河电机与北辰电机合并，成立了“横河北辰电机株式会社”。

    1986年，横河电机实施CI，改名为“横河电机株式会社”，商标也从“YEW”改为“YOKOGAWA”。两年后，横河电机正式进入高频测试技术领域，并在1992年与美国惠普公司(HP)合资成立“YokogawaAnalyticalSystemsInc.”。2013年，横河电机成立了横河解决方案服务公司，负责日本工业自动化业务的销售，工程和服务。2018年，为提高盈利能力，横河电机宣布“Transformation2020”中期经营计划。发展至今，横河电机集团全球网络遍布60个国家，拥有113家公司。