公司目前无实际控制人,上海市国资委和大基金分别持有公司 15.64%、19.12%的股份。公司股权结构相对分散,无实际控制人。上海市国资委通过上海创投持有公司 15.64%的股份,国家集成电路产业投资基金合计持有 19.12%的股份(通过巽鑫投资持有 15.15%股份,大基金二期通过参与定增持有 3.97%的股份)。嘉兴智微、中微亚洲、Bootes 和 Grenade为员工持股平台,合计持有公司 12.66%的股权,公司董事长尹志尧博士通过直接和间接方式共持股 1.04%的股份。
尹志尧 尹志尧博士,1944 年生,美国国籍,中国科学技术大学学士,加州大学洛杉矶分校博士。1984 年至 1986 年,就职于英特尔中心技术开 发部,担任工艺工程师;1986 年至 1991 年,就职于泛林半导体,历任研发部资深工程师、研发部资深经理;1991 年至 2004 年,就职 于应用材料,历任等离子体刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁及等离子体刻蚀事业群总经理、亚洲总部首席技术官;2004 年 至今,担任中微公司董事长及总经理。
王耀 王耀先生,1964 年 10 月出生,硕士研究生,现任上海科技创业投资(集团)有限公司战新项目部总经理。王耀先生曾任上海中西药业 股份有限公司事业部经理,市场部经理;上海中西新生力生物工程有限公司副总经理;2002 年 5 月起先后担任上海创业投资有限公司 项目经理、重大项目部副经理、资产经营部经理;上海科技创业投资(集团)有限公司综合业务部总经理;上海集成电路产业投资基金 管理有限公司总经理等职。现任中微公司董事。
尹志尧博士,1944 年生,美国国籍,中国科学技术大学学士,加州大学洛杉矶分校博士。1984 年至 1986 年,就职于英特尔中心技术开
发部,担任工艺工程师;1986 年至 1991 年,就职于泛林半导体,历任研发部资深工程师、研发部资深经理;1991 年至 2004 年,就职于
应用材料,历任等离子体刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁及等离子体刻蚀事业群总经理、亚洲总部首席技术官;2004 年至
今,担任中微公司董事长及总经理。持有公司0.041%股份。
中微公司的创始人、董事长及总经理尹志尧博士在半导体芯片和设备产业有 35 年行业经验,
是国际等离子体刻蚀技术发展和产业化的重要推动者之一。中微公司的其他联合创始人、核心技
术人员和重要的技术、工程人员,包括杜志游博士、倪图强博士、麦仕义博士、杨伟先生、李天
笑先生、郭世平博士、苏兴才博士和刘身健博士等等 160 多位各专业领域的专家,其中很多是在
国际半导体设备产业耕耘数十年,为行业发展做出杰出贡献的资深技术和管理专家。他们在参与
创立或后续加入中微公司后,不断创造新的技术、工艺和设计,为公司产品和技术发展做出了不
可替代的贡献。
丛海 丛海先生,1967年生,新加坡国立大学硕士研究生。1995年至2002年,担任新加坡特许半导体蚀刻资深工程师;2002年至2003年,担
任美国台积电海外厂蚀刻资深工程师;2003年至2018年,担任新加坡GlobalFoundries研发部门蚀刻部技术总监;2020年至今,担任中
微公司集团副总裁兼刻蚀部门总经理。现任中微公司董事、副总经理、核心技术人员。
陶珩 陶珩先生,1975年生,上海交通大学硕士研究生。1997年至2002年,担任武汉理工大学校办工厂机械工程师;2002年至2003年担任捷
锐气压设备(上海)有限公司;2003年至2005年担任精技机电(上海)有限公司机械工程师。2005至今,历任执行总监、副总裁、集
团副总裁、CVD产品部和公共平台工程部总经理。现任中微公司董事、副总经理、核心技术人员。
倪图强 倪图强博士,1962年生,中国科学技术大学学士、硕士,美国德州大学博士、博士后。1995年至2004年,担任泛林半导体技术总监;
2004年8月至今,历任中微公司执行总监、副总裁。现任中微公司副总经理、核心技术人员。
杨伟 杨伟先生,1966年生,西安交通大学学士、硕士。1993年至1995年,担任智群科技股份有限公司项目经理;1995年至2004年,担任应
用材料软件部资深总监;现任中微公司核心技术人员。
姜勇 姜勇先生,1974年生,上海交通大学工学学士,上海交通大学工学硕士,2005年加入中微公司。现任中微公司副总裁、MOCVD产品部
副总经理、核心技术人员。
陈煌琳 陈煌琳先生,1970年生,台湾工业技术学院学士。2000年至2018年,就职于泛林半导体,任职资深客户服务经理,2018年加入中微公
司。现任中微公司副总裁、ICP产品部总经理、核心技术人员。
刘志强 刘志强先生,1977年生,清华大学学士,硕士。2002年至2004年,就职于中芯国际集成电路制造有限公司,担任蚀刻工艺工程师;2004
年至2008年,担任新加坡特许半导体蚀刻主任工程师,2008年加入中微公司。现任中微公司副总裁、CCP刻蚀部总经理、核心技术人
员。
何伟业 何伟业先生,1982年生,南京大学学士,硕士。2007年至2010年,就职于中芯国际逻辑技术研发部,担任工艺工程师;2011年至2021
2023年年度报告
年,就职于应用材料(中国)有限公司,历任技术主管、产品经理;2021年加入中微公司。现任中微 LPCVD产品部总经理、核心技术
人员。