拓荆科技暂无控股股东和实际控制人,国家集成电路基金持股比例为19.86%,国投上海持股比例为13.68%,中微公司持股比例为8.4%,为公司前三大股东。
吕光泉,1965年出生,美国国籍,美国加州大学圣地亚哥分校博士。现任拓荆科技董事长。1994年8月至2014年8月,先后任职于美国科学基金会尖端电子材料研究中心、美国诺发、德国爱思强公司美国SSTS部,历任副研究员、工程技术副总裁等职。2014年9月至今就职于公司,曾任技术总监、总经理、董事,现任拓荆科技公司董事长。成功领导研发团队完成“1x nm3D NAND PECVD研发及产业化”国家重大科技专项,领导团队研发“国家科技重大专项课题A(ALD相关)”、“国家集成电路装备项目A(介质薄膜先进工艺相关)”等国家重大科技项目/课题,成功领导完成ALD、SACVD设备研发并产业化应用。
公司背景(一句话)
- 成立:2010 年 4 月,由姜谦、吕光泉联合中科院沈阳科仪、沈阳市政府发起,国家 “02 专项” 核心承载单位。
- 赛道:半导体前道薄膜沉积(CVD),产品 PECVD/ALD/SACVD,对标应用材料、诺发。
- 地位:国产 CVD 龙头,12 寸设备市占国内第一,进入中芯 / 长存 / 长鑫 / 华虹。
四、核心团队特点
- 海归派:核心高管多为前诺发 / 应用材料 / 泛林资深工程师,美国名校博士 / 硕士。
- 技术互补:姜谦(PECVD)+ 吕光泉(ALD),覆盖 CVD 主流技术路线拓荆科技股份有限公司