中科飞测创始人是陈鲁，以下是其简历1：
- 1992 年，年仅 15 岁的陈鲁考进中科院少年班攻读物理学专业。
- 1997 年，前往美国布朗大学进修，2003 年取得光学物理博士学位。
- 2003 年毕业后，在美国的 Rudolph Technologies 公司（RTEC）担任科学家，并在此期间遇到妻子哈承姝。
- 2005 年，在设备检测商科磊半导体任职资深科学家，主要负责研发新一代集成电路检测设备。
- 2010 年，陈鲁、哈承姝夫妇回国发展，陈鲁回到中科院，成为中科院微电子所 “百人计划” 的研究员，并担任中科院博士生导师，负责中国科学院微电子研究所微电子设备技术研究室（八室）的工作，主要研究方向为光学仪器设备领域。
- 2014 年，陈鲁带领团队从北京前往深圳创业，正式成立中科飞测。
- 2023 年 5 月 19 日，中科飞测在科创板挂牌上市，当天收盘大涨 189.62%，收盘市值高达 218.72 亿元。
- 截至 2024 年 9 月 30 日，公司研发人员数量为 493 人；已拥有境内外授权专利超过 500 项，其中发明专利超过 100 项。同时，公司牵头承担了多个国家级、省级、市级重点专项研发任务，参与了多项国家及国际标准的制定。获得了国家级专精特新 “小巨人” 企业、国家级高新技术企业、省级专精特新中小企业及省级制造业单项冠军企业等称号。
陈鲁
男，1977年生，中国香港籍，毕业于中国科学技术大学少年班，物理学专业学士学位；美国布朗大学物理学专业，博士研究生学位。2003
年11月至2005年10月，任RudolphTechnologies（现创新科技）系统科学家；2005年11月至2010年2月，任科磊半导体资深科学家；
2010年3月至2016年8月，任中科院微电子所研究员、博士生导师；2014年12月至2017年5月，任公司董事兼总经理；2017年5月
至2022年10月，任公司董事长兼总经理；2022年10月至2023年6月，任公司董事长；2023年6月至今，任公司董事长兼总经理。
哈承姝
女，陈鲁妻子。1977年生，中国香港籍，毕业于耶鲁大学国际和发展经济学专业，硕士研究生学位；美国华盛顿大学职业法律专业，博士研究生学
位。2007年10月至2011年2月，任德勤会计师事务所（美国）高级税务分析师；2011年6月至2016年5月，任金沙江创业投资（加
州）管理有限公司经理；2015年12月至2016年5月，任天成国际集团控股有限公司FinanceDirector；2016年5月至2019年8月，任
公司副总裁；2019年8月至2020年12月，任公司董事兼副总裁；2020年12月至2022年10月，任公司董事兼副总经理；2022年10月
至2023年6月，任公司董事兼总经理；2023年6月至2025年6月，任公司董事兼副总裁；2025年6月至今，任公司董事。
陈克复
男，1942年生，中国国籍，无永久境外居留权，毕业于复旦大学力学专业，本科学历，中国工程院院士。1968年1月至1992年11月，
历任天津轻工学院（现天津科技大学）讲师、副教授、教授；1992年12月至2003年5月，任中国造纸协会副理事长；1992年12月至
2003年5月，历任华南理工大学制浆造纸工程国家重点实验室（华南理工大学）筹建组副组长、副主任，轻工食品学院副院长，造纸与
环境工程学院院长；2003年至今，任中国工程院院士；1992年12月至今，任华南理工大学教授、博士生导师；2008年10月至2019年
12月，任制浆造纸工程国家重点实验室学术委员会主任；2014年12月至今，任公司董事。
周凡女
女，1985年生，中国国籍，无永久境外居留权，毕业于对外经济贸易大学会计学专业，本科学历，中国注册会计师（非执业会员）。2007
年8月至2020年8月，历任普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）北京分所经理、高级经理；2020年8月至2020年12月，任公
司财务副总裁；2020年12月至今，任公司财务总监兼董事。
古凯男男，1993年生，中国国籍，无永久境外居留权，毕业于英国帝国理工学院光学与光子学专业，硕士研究生学历。2017年5月至2020年12
月，任公司总经理助理；2020年12月至今，任公司董事会秘书；2024年1月至今，任公司董事。