公司的传感器(SENSOR)设计和制程技术为数字化 X 线探测器所需的主要核心
技术之一。非晶硅、IGZO 及柔性基板探测器使用 TFT SENSOR 的相关技术,CMOS
探测器则使用 CMOS SENSOR。公司设计并采购的 TFT SENSOR 和 CMOS SENSOR
均为光学传感器,可将可见光影像转化为数字图像。
公司拥有全球顶级的传感器设计及工艺研发团队。公司掌握的光学传感器设计及
工艺研发,适应全球多家知名面板公司的工艺制程,并与多家面板公司开展前沿技术
研究。同时公司具有 TFT SENSOR 设计的完整技术体系,并取得了 18 项集成电路布
图设计登记证书,相比于目前业内大部分厂商采购标准品 TFT SENSOR 的模式,具
有更强的深度底层创新能力。
非晶硅传感器设计及制程技术为公司早期技术储备之一,经过近 10 年的技术迭
代和发展,公司成功研发了专用于非晶硅传感器的设计方案、专用测试机台及绑定工
艺,逐步实现了从小尺寸 0505 到大尺寸 1748 的数十款产品的量产。2011 年,公司成
功研制出中国大陆第一款国产非晶硅 TFT 传感器和基于该传感器的数字化 X 线探测
器,并实现产业化,打破了国外厂商的技术垄断。
IGZO 传感器技术主要应用于高速动态数字化 X 线探测器。公司基于多次技术迭
代完成了多款产品的量产,用 IGZO 氧化物材料成功制造了 TFT 开关,实现了高电子
迁移率和低开关噪声;并可用更小的 TFT 尺寸实现较大的填充因子,提高传感器的灵
敏度。2016 年,公司在北美放射学年会上成功展出了基于 IGZO 传感器的数字化 X 线
探测器,并于 2018 年正式发布。目前公司掌握的该技术处于全球领先地位,公司使2020 年年度报告
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用 IGZO 传感器技术的产品已经广泛用于 C 臂、DSA、胃肠、齿科 CBCT、工业无损
检测等市场。
CMOS 传感器技术主要应用于高速率小尺寸的动态 X 线探测器产品,目前公司
已掌握非拼接 CMOS 探测器技术并实现量产,并储备有大面积拼接 CMOS 传感器技
术。公司较早开发出国内具有完全自主知识产权的应用于 X 线影像领域的 CMOS 图
像传感器芯片、齿科 CMOS 探测器和 TDI 探测器,图像性能与进口同类产品相当,
目前公司正在开发应用于乳腺及血管造影的 CMOS 芯片和探测器。
柔性基板传感器技术为一种新兴传感器技术,具有重量超轻、抗冲撞、不易破损
的特点,可广泛应用在移动医疗、兽用、婴幼儿 X 光摄影、安防检测、工业无损检测
等方面,将是 X 线摄片场景的未来发展方向。公司经过多次批量工艺研发,已实现玻
璃基板的激光取下及 PI 膜贴附等全自动化生产工艺。目前,公司已完成基于柔性面
板的三窄边高分辨率探测器研发,并在多家客户进行集成、测试及注册。